HELLER 垂直炉 PCO 860

设备尺寸(W*D*H): 2200*2200*1700mm

设备重量: 2470kg

电源要求: 220V/380V 5.4KW

气源要求: NA

设备简介:1.在晶圆黏结工艺，特别是芯片黏着和底部填胶应用中，压力固化炉(PCO)，或压热器，可以减少微小气泡和增加黏附强度。 2.压力固化炉是通过向一个钢化容器里注入高压气体，并且使用强制对流气体进行加热和冷却来工作的。 3.加热器、热交换器和吹风马达均位于压力容器的内部。 当固化工艺完成时，压力容器将自动释放压力至1atm并冷却。展开更多