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ELT Group 艾兰特 3D X-RAY检查机 HT100L

设备尺寸(W*D*H):

设备重量:

电源要求:

气源要求:

设备简介:该设备用于LED 芯片、LED 内部邦定线、LED 晶线的检测,IC 封装,整流桥,电阻,电容连接器等半导体内部缺陷检测。

设备参数
设备文档
配件清单
光管
光管类型
封闭式
光管电压
100kv
光管电流
0.15mA
焦点尺寸
2um
冷却方式
风冷
几何放大倍率
300 (times)
载物台
X轴
400mm
Y轴
450mm
Z轴
200mm
R轴
45°tilt
平板探测器
像素尺寸
85um
像素矩阵
1536*1536mm
有效成像面积
130*130mm
空间分辨率
5.8lp/mm
AD转换位数
16bit