设备尺寸(W*D*H):
设备重量:
电源要求:
气源要求:
设备简介:该设备用于LED 芯片、LED 内部邦定线、LED 晶线的检测,IC 封装,整流桥,电阻,电容连接器等半导体内部缺陷检测。
| 光管 | |
|---|---|
光管类型 | 封闭式 |
光管电压 | 100kv |
光管电流 | 0.15mA |
焦点尺寸 | 2um |
冷却方式 | 风冷 |
几何放大倍率 | 300 (times) |
| 载物台 | |
|---|---|
X轴 | 400mm |
Y轴 | 450mm |
Z轴 | 200mm |
R轴 | 45°tilt |
| 平板探测器 | |
|---|---|
像素尺寸 | 85um |
像素矩阵 | 1536*1536mm |
有效成像面积 | 130*130mm |
空间分辨率 | 5.8lp/mm |
AD转换位数 | 16bit |

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