DISCO全自动激光划片机DFL7360LF
设备尺寸(W*D*H): L2245×W1100×H1800mm
设备重量: 2250kg
电源要求:
气源要求:
设备简介:DISCO DFL7360LF 激光划片机(Fully Automatic Laser Saw)。厚材料の自由形状加工を実現するLEAF対応レーザソーΦ300mmウェーハ対応アブレーションDFL7360LFは、レーザアブレーションを応用したLEAF※対応の、Φ300mm向けフルオートレーザソーです。高アスペクト比の加工により、厚物や狭カーフの分割が可能です。※LEAF(LaserEnhancedAblationFilling)についてマスクレスで微細な直線/曲線加工が可能で、Φ8inchまでの自由形状に対応します。ダイヤモンドやガラス、サファイアなど難削材の加工にも対応します。※LEAFは株式会社ディスコの⽇本における登録商標です。自由形状加工ユーザが作成したCADデータを取り込み任意形状のレーザ加工を実現します。また、装置画面にはピンチアウト機能などを搭載し、直感的な操作が可能です。厚材料加工厚さ1mmまでの材料加工に対応します。ご要望に応じて、厚さ10mmまでの加工にも対応可能です(特殊尺寸与重量取自官网规格表;电源、气源官网未公开,故留空。来源:DISCO官网产品页。展开更多
设备参数
设备文档
配件清单
设备参数
| 规格参数 | |
|---|---|
加工方式 | LEAF |
最大工件尺寸 | Φ300 mm |
X轴(卡盘工作台)切割范围 | 210(形状加工)310(直線加工) mm |
进给速度范围 | 1.0~1,000 mm/s |
Y轴(卡盘工作台)切割范围 | 210(形状加工)310(直線加工) mm |
分度步距 | 0.001 mm |
定位精度 | 0.003以内/310 (单一误差)0.002以内/5 mm |
Z轴移动分辨率 | 0.0000024 mm |
重复精度 | 0.001 mm |
θ轴(卡盘工作台)最大回转角度 | 380 deg |
