DISCO全自动激光划片机DFL7362FH
设备尺寸(W*D*H): L2100×W1100×H1990mm
设备重量: 2350kg
电源要求:
气源要求:
设备简介:DISCO DFL7362FH 激光划片机(Fully Automatic Laser Saw)。極薄化後の高速・高品質な加工を実現するフレーム搬送専用レーザソーΦ300mmウェーハ対応ステルスダイシングSDTTフレーム搬送専用機で、厚さ50μm以下の極薄シリコンを高い抗折強度で高速にチップ化することが可能ですSiに加え、透明体材料の加工にも対応可能です。ウェーハ厚測定やノンストップカーフチェックなど、品質・生産性に関する尺寸与重量取自官网规格表;电源、气源官网未公开,故留空。来源:DISCO官网产品页。展开更多
设备参数
设备文档
配件清单
设备参数
| 规格参数 | |
|---|---|
加工方式 | ステルスダイシング |
最大工件尺寸 | Φ300 mm |
X轴(卡盘工作台)切割范围 | 310 mm |
进给速度范围 | 1 ~ 2,000 mm/s |
Y轴(卡盘工作台)切割范围 | 310 mm |
分度步距 | 0.0001 mm |
定位精度 | 0.003以内/310 (单一误差)0.002以内/5 mm |
Z轴移动分辨率 | 0.000005 mm |
重复精度 | 0.001 mm |
θ轴(卡盘工作台)最大回转角度 | 380 deg |
