DISCO表面平坦机DFS8960
设备尺寸(W*D*H): L3356×W1400×H1870mm
设备重量: 5000kg
电源要求:
气源要求:
设备简介:DISCO DFS8960 表面平坦机(Surface Planer)。适用于Φ300mm以下的全自动平坦化加工设备Φ300mmPlanarization通过金刚石刨刀实现超精密平坦化技术将金属等延展性材料或树脂等复合材料进行高精度的平坦化加工,解决因凸块等高度偏差或表面粗糙而引起的问题。加工事例请在此参阅加工事例技术尺寸与重量取自官网规格表;电源、气源官网未公开,故留空。来源:DISCO官网产品页。展开更多
设备参数
设备文档
配件清单
设备参数
| 规格参数 | |
|---|---|
可对应工件尺寸 | Φ300 mm |
主轴数 | 2 |
卡盘台数 | 2 |
搬送・清洗机构 | あり |
加工精度TTV | µm / 3.0以下 |
芯片内(5mm 角)凸点高度偏差µm | 1.0以下 |
切割面粗糙度µm | Ra 0.02以下 |
