轴心Axxon清洗设备MYS10等离子清洗系统
设备尺寸(W*D*H): L1200×W790×H1880mm
设备重量: 800kg
电源要求: AC200~240V 50/60Hz
气源要求: 0.6MPa
设备简介:轴心自控（Axxon）MYS10 全自动在线式常压氩气等离子清洗系统，适用于半导体、SMT、光电、医疗等行业；O2制程去除有机污染物，H2制程去除金属氧化物。电源官方为AC200~240V/4.4kW/20A，平台原值220V/2kW/23A已更正。展开更多
设备参数
设备文档
配件清单
设备参数
| 基本参数表 | |
|---|---|
项目 | 规格 |
定位精度 | XY: ± 30 m @ 3 σ
Z: ± 10 m @ 3 σ |
X,Y,Z轴重复精度 | XY: ± 15 m @ 3 σ
Z: ± 5 m @ 3 σ |
认证标准 | CE,SEMI S2 |
最大速度 | 1,000 mm/s (X, Y) |
加速度 | 1.0g |
相机解析度 | 640 x 480 px (30 W) |
驱动系统 | AC servo |
轨道形式 | Belt |
轨道承重 | 3 kg |
Z轴行程 | 100 mm |
允许板面器件最大高度 | 26 mm |
允许板下最大高度 | 75 mm |
等离子处理范围W'xD) | 350x475mm |
等离子处理方式 | WCA<10°(wafer)
WCA<20°(Plastic) |
产品厚度范围(不带载具) | 0.5–6 mm |
通讯协议 | SMEMA |
| 等离子系统需求参数 | |
|---|---|
RF功率 | 600W at 27.12 MHz |
主要等離子气体 | Argon |
制程气体 | O2, N2, or H2 (other upon testing) |
气源压力范围 | 40–100 psig (0.3–0.7 MPa) |