设备尺寸(W*D*H): 1160X1150X1700
设备重量: 950KG
电源要求: AC220V 50HZ
气源要求: 4~6 Kgf/cm2
设备简介:检测项目:体积,面积,高度,XY偏移,形状◆ 检测不良类型:漏印,多锡,少锡,连锡,偏移,形状不良◆ *小检测元件:01005(英制)◆ XY定位精度:1um Grating ruler◆ 重复性精度:高度<1um(4sigma);面积/体积<<1%展开更多
参数 | |
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检测项目: | 体积,面积,高度,XY偏移,形状 |
检测不良类型: | 漏印,多锡,少锡,连锡,偏移,形状不良 |
XY定位精度: | 1um Grating ruler |
重复性精度: | 面积/体积<<1%(4 高度<1um(4sigma) |
小检测元件: | 01005(英制) |
检测速度: | 0.3秒/FOV |
Mark点识别: | 0.5秒/个 |
检测高度: | +/-550um (+/-1200um为选件) |
操作系统: | Windows 7 Professional (64 bit) |
结构 | 五分钟编程,一键式操作,SPC过程工艺控制 |
暂无设备