KLA-M5840- 15

英文名: 伺服板组件

中文名: 伺服板组件

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单位: 1

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第15章系统设置.pdf

15-1 第15章. 系统设置叙述除前一章记述的校正项目以外的系统设定。 Calibration(System Setup) 。设置状态如果被非指定的操作人员改变可能会损伤设备或引起人员受伤。 15-1. 15-2. 15.1. (Conveyor) [F3] 设定与Conveyor有关的事项。

中文操作手册

第15章系统设置.pdf

15-20 15.5.2. Stick Feeder 以下画面是在目录框中选择 “Stick”时。设定有关管式喂料器的数据。 15-12. ““ : – ” 清单框选择将要设定的管式喂料器形式。 <默认流入时间[兆秒]> 编辑框设定推料时间。

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15-21 15.5.3. Tray Feeder 以下画面是Device List中选择 “多盘”时。设定与多盘相关的数据。 15-13 . “ : – ” 清单框选择要设定的盘式类型。

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15-23 <确定> 按钮储存数据后关闭画面。 <取消> 按钮忽略数据直接关闭画面。

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15-8 15.3. (Peripherals) [F6] 对Dump Box和Tray Feeder进行设定。 15.3.1. 15-6. “Sys. Setup: ” “Dump Box” TAP <元件废料的传输装置> 领域记入Dump输送机有关设定项目。

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15-18 15.4.3. < Device > TAP对话框设定ANC，照相机的使用与否，设定视觉系统能使用的参数。选择此按钮时显示如下的画面。 15-10.

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15-7 15.2.2. <系统堆存处> TAP对话框设定与吸附部件回收厢 Dump Box有关的数据。选择此TAP则显示如下对话框。 15-5. “Sys.

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15-19 15.5. Device [F11] 管理有关带式, 杆式, 吸嘴的数据。 15.5.1. Tape Feeder 15-11. “ : - ” 清单框选择将要设定的装置。

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15-2 15-3. “Sys. Setup: ” <当前界限> 领域表示当前 Conveyor的设定状态。

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15-10  头 3: 指定 3 号头。  头 4: 指定 4 号头。  头 5: 指定 5 号头。  头 6: 指定 6 号头。 15-7. “Accessory” “Tray Feeder” TAP <选择> 选项按钮选择盘式喂料器单位。可选择的盘式喂料器单位是 1–4。

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